超精密清洗包括在精密工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)機(jī)械零件，電子零件，光學(xué)零件等進(jìn)行超精密清洗，目的是清除極小的污垢顆粒。

根據(jù)清洗方法的不同，超聲波清洗機(jī)也可以分為物理清洗和化學(xué)清洗：利用機(jī)械，聲學(xué)，光學(xué)，電和熱的原理，依靠外部能量的作用，例如機(jī)械摩擦，超聲波，負(fù)壓，高壓。）命中。去除紫外線蒸汽等物體表面污垢的方法稱為物理清潔；利用化學(xué)反應(yīng)或其他溶劑去除物體表面污垢的方法稱為化學(xué)清潔。

例如，各種無(wú)機(jī)或有機(jī)酸用于去除物體表面上的鐵銹和水垢，并且氧化劑用于去除物體表面上的污漬。消毒劑可以殺死微生物并去除霉菌等。物理清潔和化學(xué)清潔都有其自身的優(yōu)缺點(diǎn)這些觀點(diǎn)是非常互補(bǔ)的。在實(shí)際使用過(guò)程中，通常將兩者結(jié)合在一起以獲得更好的清潔效果。

根據(jù)清洗介質(zhì)的不同，可以分為濕法清洗和干洗。通常，在液體介質(zhì)中的清潔稱為濕式清潔，而在氣體介質(zhì)中的清潔稱為干式清潔。傳統(tǒng)清洗方法它們大多數(shù)是濕式清潔，而人們更容易理解的干洗也是一種真空吸塵器。但是近年來(lái)，干洗業(yè)發(fā)展迅速。如激光清洗，紫外線清洗，等離子清洗，干冰清洗等。